跨周期亚尼奎斯特采样方法用于高效的3D表面造型在低连贯性扫描干扰度

概括

一种新的跨周期亚尼奎斯特采样方法提高了低相干扫描干扰测量 (LCSI) 的效率. 这种技术可以实现更高的精度和更好的粗度测量,采样间隔比尼奎斯特极限大得多.