研究使用电化学被动化蚀刻停止策略制造纳米孔的研究

Hao Hong1,2, Xin Lei3, Jiangtao Wei2

  • 1Department of Microelectronics, Delft University of Technology, 2628 CD, Delft, The Netherlands.

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概括

研究人员开发了一种新的电化学被动化方法,用于精确的纳米孔制造. 这种技术使得快速的蚀刻停止和可控制的10nm以下纳米孔创建具有高精度.