在深紫外线区域中提高光探测器响应性的等离子学

Yu-Ichiro Tanaka1, Atsushi Ono1,2, Wataru Inami1,2

  • 1Shizuoka University, Graduate School of Integrated Science and Technology, 3-5-1 Johoku, Chuo-ku, Hamamatsu, 432-8561 Japan.

PubMed
概括

(Si) 等离子体增强深紫外线 (DUV) 探测器. 在Si表面上的周期格子通过表面等离子体共振 (SPR) 提高了响应能力,即使没有金属,也适用于新的DUV应用.