Microenvironments
Scale-Up Processes
Upstream Processing
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Korbinian T Metz1,2, Faruk Civelek3, André Zimmermann1,4
1Faculty 7, Institute for Micro Integration (IFM), University of Stuttgart, 70569 Stuttgart, Germany.
现有的微系统技术 (MST) 和微电机系统 (MEMS) 工艺开发方法不足以应对环境因素. 需要新的方法来系统地整合工艺环境要求,以提高MST制造效率和质量.
科学领域:
背景情况:
研究的目的:
主要方法:
主要成果:
结论: