基于静电MEMS扫描镜的眼睛追踪系统的设计和性能评估
Minqiang Li1, Lin Qin2, Xiasheng Wang2
1School of Electronic Engineering, Chengdu Technological University, Chengdu 610031, China.
Micromachines
|June 27, 2025
概括
本研究介绍了一种使用微电机系统 (MEMS) 扫描镜的紧型高频眼睛追踪系统. 该系统以0.6°的最小分辨率实现精确的眼动检测,为可穿戴应用铺平了道路.
科学领域:
- 生物医学工程 生物医学工程
- 光电学是指光电子产品.
- 在 MEMS 技术方面,MEMS 技术
背景情况:
- 精确的眼睛跟踪对于人机交互,医学诊断和心理学研究至关重要.
- 现有系统通常面临尺寸,扫描频率或准确度的限制.
研究的目的:
- 开发和验证一种新的,紧的,高频率的眼睛追踪系统.
- 为了证明系统的精度和集成到可穿戴设备的潜力.
主要方法:
- 使用一种通过微电机系统 (MEMS) 工艺制造的静电双轴扫描镜.
- 使用激光束在人工眼球上创建一个Lissajous扫描图案.
- 使用线性光二极管传感器阵列 (LPSA) 检测到反射模式,并分析了灰度变化.
主要成果:
- 实现了至少0.6度的眼球追踪分辨率.
- 在眼球旋转角度和LPSA灰度值之间显示出强烈的相关性.
- 初步结果表明,开发的系统具有很高的准确性.
结论:
- 拟议的基于MEMS的眼睛跟踪系统为精确和高效的眼睛运动检测提供了一个有前途的解决方案.
- 该系统的紧尺寸和高扫描频率使其适合集成到可穿戴眼镜中.
- 潜在的应用范围包括医学,心理学和先进的人机接口.
