基于TMV嵌入式FOWLP的X波段集成被动设备结构
Jiajie Yang1, Lixin Xu1, Xiangyu Yin2
1School of Mechatronical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China.
Micromachines
|June 27, 2025
概括
本研究介绍了一种用于X波段FMCW雷达的集成被动装置 (IPD),使用风扇外晶圆级包装 (FOWLP). 新的设计和测试证明了雷达应用的成功小型化.
科学领域:
- 电气工程 电气工程
- 微波工程 微波工程
- 半导体包装 半导体包装
背景情况:
- 集成被动设备 (IPD) 对雷达系统至关重要.
- 扇形晶圆级包装 (FOWLP) 提供了小型化潜力.
- X波段FMCW雷达需要紧而高效的被动元件.
研究的目的:
- 使用FOWLP.制造和测试使用X频段FMCW雷达的IPD结构.
- 通过结合过渡线结构来提高IPD性能.
- 为双端口结构提出简化测试方法.
主要方法:
- 用过渡线进行阻抗匹配的IPD结构的制造.
- 实现一个垂直接的微型微型 (SMPM) 接口测试方法.
- 性能特征包括带宽,隔离和增益.
主要成果:
- 制造出来的IPD结构的尺寸为16.983 × 24.099 × 0.56 mm3.
- 实现的运行带宽是7.66%在8.5GHz中心频率.
- 最大隔离达到了33.9dB,隔离>20dB的带宽为1.76%.
结论:
- 在FOWLP过程中,可以实现X波段FMCW雷达天线和IPD的微型化.
- 开发的IPD结构在雷达应用中显示出有前途的性能.
- 拟议的测试方法简化了对双端口结构的评估.


