激光诱导的4H-SiCC的液相兴奋剂

科学领域:

• 材料科学与工程 材料科学与工程
• 半导体物理 半导体物理
• 光电学是指光电子产品.

背景情况:

• 4H-碳化 (4H-SiC) 由于其优异的性能,对先进的设备至关重要.
• 由于化学惰性和低剂量扩散,4H-SiC的有效兴奋剂具有挑战性.
• 需要新的兴奋剂方法来克服这些设备制造的限制.

研究的目的:

• 为n型4H-SiC.开发和验证激光辅助兴奋剂技术.
• 为了研究激光兴奋剂对MIDIR光谱中的光学特性的影响.
• 使用开发的方法制造和描述一个功能性的p-n连接二极管.

主要方法:

• 使用脉冲的Nd:YAG激光与液相前体用于注4H-SiC.
• 采用热传递模型来优化激光过程参数.
• 测量了光学常数 (折射率"n"和衰减指数"k") 使用福里埃变换红外光谱学和先进的吸收模型.

主要成果:

• 实现合并,在0.29 eV创建接受器水平,在4.3μm调节光学响应.
• 在4.3微米后,观察到折射率从2.857降至2.485的显著下降.
• 证实了晶体完整性 (拉曼光谱),的峰值度 (1.29 × 10¹⁹ cm^-3) 和结点深度 (450 nm). 制造的二极管显示了1668V的故障电压.

结论:

• 激光辅助兴奋剂是一种有效的方法,用于修改MIDIR光谱中的4H-SiC的光学特性.
• 该技术可以制造具有高性能功能的光电子设备.
• 这种方法为红外材料工程和先进设备开发提供了一个多功能平台.