展示直接纳米印制的-泰坦尼大尺寸垂直格合器,用于多通道光子传感器开发

科学领域:

• 光子学和光学工程的工程.
• 材料科学和纳米技术材料科学和纳米技术
• 集成光学 集成光学 集成光学

背景情况:

• 在先进的光子设备中,将多个光束有效地合到波导层中至关重要.
• 现有的方法在多道应用程序的可扩展性和成本效益方面往往面临限制.

研究的目的:

• 设计,制造和实验评估用于同时进行多束光学合的大面积垂直格合器 (VGC).
• 为了展示与波导膜集成的VGC的成本效益高的制造工艺.

主要方法:

• 在玻璃基板上使用sol-gel和dip-coating技术制造SiO_X:TiO_Y波导 (WG) 膜.
• 在WG薄膜上直接纳米打印网格图案,以创建VGC.
• 开发一个专门的光学合系统,配有微镜头阵列和光纤阵列.

主要成果:

• 在制造过程中,可以精确控制WG薄膜厚度,折射率和VGC几何.
• 通过VGC成功演示了通过VGC将多个准平行输入光束的光学合到WG层.
• 集成系统有效地将光学信号用于潜在的传感器应用.

结论:

• 开发的大面积VGC和制造工艺为低成本的多通道光学传感器芯片提供了有前途的解决方案.
• 直接纳米打印技术为VGC制造参数提供了卓越的控制.
• 演示的光学合验证了这项技术在集成光子系统中的潜力.