氧化碳酸盐薄膜是通过诱导的CVD工艺从循环二氧化-四环氧化制成的

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术 纳米技术
• 表面化学 表面化学

背景情况:

• 氧化碳 (SiOC:H) 涂料具有宝贵的光学,电子和防腐性能.
• 有机前体为合成SiOC:H材料提供了多功能途径.
• 定制SiOC:H膜结构和特性对于各种技术应用至关重要.

研究的目的:

• 为了合成和表征薄的SiOC:H薄膜,使用八甲基-1,4-二氧化四基环 (²D₂) 和多氧化二甲基) (POBDMS) 前体.
• 研究合成方法 (RHP-CVD和螺旋涂层/交联) 对SiOC:H薄膜特性的影响.
• 提出一种用于SiOC:H膜的RHP-CVD合成和交联的机制.

主要方法:

• 远程等离子体化学蒸汽沉积 (RHP-CVD) 用于D2前体.
• 在POBDMS前体的RHP交叉连接之后进行了螺旋涂层.
• 使用XPS,FTIR,NMR (¹³C,²⁹Si),光发光,圆测量,AFM和重力测量分析进行了表征.

主要成果:

• 可调的SiOC:H薄膜结构,从聚合物到陶类,通过RHP-CVD实现.
• 从POBDMS沉积的SiOC:H薄膜成功地使用基进行了交联.
• 综合性表征揭示了关于组成,结构,形态和光学特性的详细信息.

结论:

• 无论是RHP-CVD还是基于溶液的方法,都可以合成具有可控制性质的SiOC:H薄膜.
• 基在SiOC:H膜的启动,生长和交联中发挥着关键作用.
• 该研究提供了对新型SiOC:H涂料的合成机制和潜在应用的见解.