概括
本研究介绍了一种紧型光子光功率监测器 (OPM),在多模干扰波导上使用. 该设备实现了低插入损失和高响应性,使其能够密集集成到光学网络上的芯片中.
科学领域:
- 光子学 是一个光子学.
- 集成光学 集成光学 集成光学
- 半导体设备 半导体设备
背景情况:
- 光子芯片的规模和复杂性正在增加.
- 对于紧的,低损耗的光功率监测器 (OPM) 的需求正在增加,用于大规模的光子集成.
研究的目的:
- 提出和演示一个紧的和低损耗的直线光学功率监视器.
- 为了实现高密度集成在光学网络-on-chip.
主要方法:
- 在多模干扰 (MMI) 段上设计了一种直通波导,其中有一层 (Ge) 层.
- 使用受约束粒子群算法优化了MMI形状.
- 使用标准的CMOS工艺制造了该设备.
主要成果:
- 在1550nm时实现了大约0.4dB的插入损失.
- 证明了15mA/W的响应能力.
- 设备的足迹是14.5 × 10μm.
结论:
- 拟议的OPM设计提供了一个小的足迹和低插入损失.
- 该设备适用于在光子电路中高密度集成.
- 这项技术支持光学网络在芯片上的进步.


