线

R A W Ayyubi1, Mei Xian Low2, Salar Salimi3

  • 1Department of Physics, University of Illinois at Chicago, Chicago, Illinois, USA.

PubMed
概括

这项研究引入了一种新的跨光谱响应预测框架,用于识别用于极紫外线 (EUV) 检测的材料. 该方法使用可见/紫外线数据来预测EUV性能,发现性能明显优于的材料.