在一个单质的微光流体酸芯片中进行折射率传感

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 光电学是指光电子产品.
• 微流体学 微流体学

背景情况:

• 酸 (LiNbO3) 具有出色的电光,声光和非线性性能.
• 这些特性使其适用于集成光子设备和芯片上的实验室应用.

研究的目的:

• 在尼酸盐平台上制造和演示一个单体光流体折射率传感器.
• 为了评估传感器的灵敏度,准确性和可重复性,用于潜在的芯片实验室应用.

主要方法:

• 在酸中制造微流体通道,使用秒激光铭文和选择性蚀刻.
• 微通道表面通过化进行平滑.
• 使用糖溶液和充满空气的通道对传感器性能进行表征.

主要成果:

• 获得了高对比度 (24dB) 的法布里-佩罗干扰光谱,表明光学质量良好.
• 传感器在1554nm时显示出1215nm RIU-1的灵敏度.
• 折射率变化为10−3被测得具有高精度 (8.5 × 10−5) 和低可重复性误差.

结论:

• 制造的酸光流体传感器显示了集成实验室芯片设备的前景.
• 该设备在折射率传感方面表现出色的性能指标.
• 以五秒激光制造为基础的制造提供了一个可行的途径,用于在酸中创建复杂的光流体设备.