芯片内关键等离子体种子用于可重新配置的光子系统的激光写作
Andong Wang1,2, Amlan Das1,3, Vladimir Yu Fedorov4,5
1Aix Marseille University, CNRS, LP3 UMR7341, Marseille, France.
Nature communications
|July 22, 2025
概括
超快的激光写作现在可以精确地修改光学设备的. 通过使用等离子体种子,研究人员实现了可控制的局部能量沉积,用于可重写的光学记忆和分级索引功能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学是什么?光学是什么?光学是什么?
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 超高速激光3D写作提供了制造潜力,但在半导体应用中面临挑战.
- 芯片中的非线性和强烈红外光的控制能力差,阻碍了采用.
研究的目的:
- 为了克服半导体技术的超快激光写作中的可控性问题.
- 为了使光学设备制造的中精确,局部的材料修改.
主要方法:
- 利用等离子光学概念,用聚焦的 femtosecond 激光脉冲创建等离子种子.
- 采用关键密度条件,用于与写照辐射同步的封闭能量沉积.
- 在中证明了1μm大小的同位素修饰.
主要成果:
- 通过等离子体播种实现高度局部化和可靠的处理.
- 在材料变化可控性方面取得了显著的改进.
- 创建了可重写的光学记忆,具有超过100个写入/删除周期.
- 在中制造的分级索引功能.
结论:
- 具有临界密度条件的等离子体播种解决了半导体超快激光写作中的可控性问题.
- 这种技术可以灵活制造可重新配置的单立体基光学设备.
- 为先进的光学数据存储和集成光子学开辟了新的途径.


