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Yimeng Sang1,2, Xiangming Xu3, Ying Wu1
1School of Integrated Circuits, Nanjing University, Suzhou 215163, China.
研究人员开发了一种新的表层氧化方法,在无形二氧化基板上生长单晶化 (GaN) 薄膜. 这一突破使新的半导体设备能够通过克服以前的基板限制来实现.
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主要成果:
结论: