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Wen Zhao1, Guo Chen1, Tokuyuki Teraji1

  • 1Research Center for Electronic and Optical Materials, National Institute for Materials Science, Namiki 1-1, Tsukuba, Ibaraki, 305-0044, Japan.

概括

本研究介绍了用于超高灵敏度温度传感的钻石微电子机械系统 (MEMS) 共振器. 这种新的温度计实现了前所未有的分辨率和广泛的温度范围,克服了当前技术的局限性.