一个超精确的光学表面制造的光滑抛光模型,具有形态梯度意识的形态
Guohao Liu1, Yonghong Deng2, Zhibin Li3,4
1Department of Mechanical and Electrical Engineering, Liaocheng University Dongchang College, Liaocheng 252000, China.
Micromachines
|July 30, 2025
概括
这项研究引入了超精密光学的新光滑模型,有效减少中空间频率 (MSF) 错误. 这种新的方法通过根据表面特征适应性控制材料去除来提高表面质量.
科学领域:
- 光学工程的光学工程.
- 表面计量学 表面计量学
- 制造业科学 制造业科学
背景情况:
- 超精确的光学元件需要高表面质量,中空间频率 (MSF) 错误是一个重大挑战.
- 现有的表面错误抑制方法往往缺乏适应复杂表面地形的动态适应性.
研究的目的:
- 开发和验证一种新的形态梯度意识的时空合光滑模型,以提高表面形态质量.
- 为了特别解决和抑制超精密光学元件中的中空间频率 (MSF) 错误.
主要方法:
- 开发了一个包含拉普拉斯曲率敏感"峰值优先"机制的卷积材料去除模型.
- 一个非线性时空合方程,根据表面梯度,曲率和周期性波动调节适应性停留时间.
- 材料移除是通过移除函数的卷积与动态停留时间分布来建模的.
主要成果:
- 拟议的模型在表面光滑性能方面取得了显著的改进.
- 通过动态停留时间控制,可以有效地抑制中空间频率 (MSF) 错误.
- 对绩效指标 (PV,RMS,PSD) 的分析表达式使量化评估成为可能.
结论:
- 形态梯度感知时空合光滑模型为改善超精密光学表面质量提供了强大的解决方案.
- "高峰优先"机制和自适应停留时间控制是加强MSF错误抑制的关键.
- 该模型为评估和优化平滑过程提供了定量框架.
