概括
这项研究引入了一种使用动态波面调制的静态低孔接干扰测量 (SSI) 方法. 这种技术消除了机械定位错误,用于高精度的复杂表面测试.
科学领域:
- 光学计量学是指光学计量学.
- 表面计量学 表面计量学
- 干涉测量是干涉测量的方法.
背景情况:
- 在复杂的表面测试中,低度接干扰测量 (SSI) 是至关重要的.
- 机械定位错误限制了传统SSI方法的准确性.
研究的目的:
- 开发一种静态SSI方法来克服定位错误.
- 为了提高全孔表面重建的准确性.
主要方法:
- 使用空间光调制器 (SLM) 进行动态波面调制.
- 使用SLM和球形镜头生成倾斜的球形波.
- 采用牛顿代来进行反校正,以提高波面质量.
主要成果:
- 在没有系统组件移动的情况下实现全开口接,抑制定位错误.
- 与CGH方法相比,在高阶无球面上证明了高精度,其余波面误差为0.01λ RMS.
结论:
- 拟议的静态SSI方法有效消除了定位错误.
- 该技术使复杂表面的高精度测试成为可能.


