基于使用空间光调节器的动态波面调制的静态亚开口接干扰计

Optics express
|July 30, 2025
PubMed
概括

这项研究引入了一种使用动态波面调制的静态低孔接干扰测量 (SSI) 方法. 这种技术消除了机械定位错误,用于高精度的复杂表面测试.