通过10nm以下的纳米间隙在石墨烯-金属混合元表面中的增强光谱可调性

科学领域:

• 在Metasurfaces上使用.
• 纳米制造的纳米制造
• 光学是什么?光学是什么?

背景情况:

• 可电调的石墨烯金属元表面提供精确的光传播控制.
• 制造限制,特别是可实现的纳米间隙大小,限制了它们的共振调范围.

研究的目的:

• 为了克服超表面制造中的≈20nm间隙尺寸限制.
• 为了增强中红外元表面的调范围和调制深度.

主要方法:

• 一种新的制造方法,结合了电子光束光刻,物理蒸汽沉积和离子削.
• 整合一个Al2O3蚀刻停止层,以实现10nm以下的间隙制造.

主要成果:

• 可靠制造10nm以下的间隙,克服传统的限制.
• 对于中红外转移表面,调整范围从0.50到0.77μm增加.
• 由于在减少的纳米间隙中更强的场增强,最大调制深度从45%提高到59%.

结论:

• 开发的制造方法对于创建可广泛调节的中红外超表面至关重要.
• 这一进步在空间光调节器,表面增强拉曼光谱和量子光子学方面有潜在的应用.