在200毫米的光子晶圆上展示酸集成的演示,使用转印印刷

科学领域:

• 光子学和材料科学 材料科学
• 集成光学 集成光学 集成光学
• 半导体制造业 半导体制造业

背景情况:

• 光子为光通信提供了一个成熟的平台,但缺乏高效的电光调制.
• 酸是高性能电光调节器的主要材料.
• 整合酸与光子学一直是具有挑战性的.

研究的目的:

• 提出一种可扩展和兼容的方法,用于将酸尼奥酸异质整合到光子学上.
• 在光子平台上实现高速电光调制器的制造.
• 为了证明晶圆尺度集成和尼酸盐光子结构的表征.

主要方法:

• 晶圆尺度微传输打印用于异质集成.
• 制造长7毫米的电光调制器.
• 模块器性能 (半波电压,带宽) 和集成结构的被动光学性能的表征.

主要成果:

• 在光子学上成功整合酸的异质整合.
• 在制造的调制器中,半波电压达到4V,带宽超过70GHz.
• 在200毫米晶圆上展示了超过200个酸光子结构的集成.

结论:

• 开发的微传输打印方法可扩展,用于将酸集成到光子学上.
• 这种方法促进了与后端处理兼容的高性能,高速调制器的整合.
• 结果为具有增强电光功能的先进光子设备铺平了道路.