概括
一种新型的无自由光谱范围 (FSR) 的Fabry-Pérot (FP) 腔传感器使用错位的多模布拉格格来提高灵敏度. 这种创新的传感器显示了多参数传感应用的巨大潜力.
科学领域:
- 光子学和光学传感器
- 纳米技术和材料科学 纳米技术和材料科学
背景情况:
- 传统的Fabry-Pérot (FP) 腔体存在自由光谱范围 (FSR) 和灵敏度的限制.
- 多模布拉格网格 (MBGs) 提供了更广泛的光谱带宽的潜力,但需要对单个共振峰进行仔细设计.
研究的目的:
- 提出和演示一种新的无FSR多模FP腔传感器.
- 为了增强光物质相互作用,并实现高折射率灵敏度,损失最小.
主要方法:
- 在在绝缘体 (SOI) 晶圆上制造传感器.
- 在FP腔内集成一个多模子波长格子 (MSWG).
- 使用一对不对齐的MBG来实现单个共振峰值并扩大光谱带宽.
主要成果:
- 显示温度灵敏度为91.17分钟/°C.
- 实现了305.83nm/RIU的散装折射率灵敏度.
- 传感器表现出高灵敏度,光学损失最小.
结论:
- 拟议的无FSR多模FP腔传感器克服了传统FP腔的局限性.
- 该设备显示出在环境,生物医学和化学领域的多参数传感方面的巨大潜力.
- 为先进的传感应用提供可扩展和高性能解决方案.
