通过在等离子剪裁的蜂模板上进行定向自组装实现高达48倍的密度乘法

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术 纳米技术
• 半导体制造业 半导体制造业

背景情况:

• 直接自组装 (DSA) 对于光刻版中图案密度的乘法至关重要.
• 当前的DSA方法在实现无缺陷,高乘数的有序安排方面存在局限性.
• 扩大纳米制造的规模需要克服缺陷控制和实现更高密度的挑战.

研究的目的:

• 开发一种用于直接自组装的圆柱状聚乙烯块聚甲基甲酸 (PS-b-PMMA) 的创新指导方法.
• 为了实现有序的纳米孔数组的高倍率.
• 为了证明在纳米制造中实现高密度倍增的可行途径.

主要方法:

• 用两步 lithography 和 trimming 工艺制造 DSA 的蜂巢指导模板.
• 使用巧妙的剪裁技术,将引导图案密度增加一倍.
• 使用粗粒度模拟来验证DSA效应并分析指导方案的性能.

主要成果:

• 在圆柱体块共聚合物中达到最大48×的乘法因子.
• 证明了长距离的有序区块共聚合物微域,具有马形状的三轴对称模板.
• 获得了有序的纳米孔阵列,具有出色的放置精度,图案均性和可转移性.

结论:

• 拟议的指导方案提供了一个强大的定机制,以实现DSA的高乘法因子.
• 这种方法为高密度纳米孔阵列的可扩展纳米制造提供了一个有希望的解决方案.
• 该研究验证了先进模板设计的潜力,以克服当前光刻制造业的局限性.