Applied optics
|August 12, 2025
PubMed
概括

我们开发了一种新的角度分辨率通道光谱微圆测量 (ACSE) 系统,用于精确的薄膜分析. 这种先进的技术准确地测量SiO2薄膜厚度和折射率,与商业设备进行验证.