侧面分级的X射线多层高反射率的高精度沉积在一个曲的圆形镜子上

Applied optics
|August 12, 2025
PubMed
概括

这项研究精确地将W/Si多层涂在一个小圆形镜上,实现了先进的X射线光学所必需的控制的d间距梯度. 结果表明,用于聚焦X射线束的高精度涂层.