概括
这项研究精确地将W/Si多层涂在一个小圆形镜上,实现了先进的X射线光学所必需的控制的d间距梯度. 结果表明,用于聚焦X射线束的高精度涂层.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 圆形镜子对于光学系统中聚焦X射线束至关重要.
- 在具有不同冲击角度的曲面上实现统一的多层涂层是具有挑战性的.
- 小的曲率半径和紧的镜子大小使精确的沉积过程变得复杂.
研究的目的:
- 开发一种高精度的涂层方法,用于多层圆形镜.
- 为了在X射线光学的圆形镜上实现多层d间隔的侧向梯度.
- 在强烈曲的表面上保持一致的接口质量和高反射率.
主要方法:
- 用不同的基板运动速度和面罩涂上W/Si多层的10x10mm^2圆形镜.
- 精确控制多层d-间距从3.48到4.18nm沿着接触方向.
- 保持一个恒定的d-间距沿着角方向为18毫米的角半径的曲率.
主要成果:
- 对d间距的实验偏差在设计值的±1%以内.
- 在强烈曲的镜面上观察到一致的多层接口质量.
- 测量的X射线反射率在8keV时从65%到68%不等.
结论:
- 高精度的W/Si多层涂层可以在具有显著曲的小圆形镜子上实现.
- 开发的方法成功地实现了多层d-spacing中的侧向梯度,这对于X射线光学应用至关重要.
- 一致的接口质量和高反射率证实了这些涂层镜子在X射线聚焦和聚合时的可行性.


