在白光干涉测量中使用仪器转移函数评估二进制伪随机数组进行地形恢复

概括

准确的白光干扰测量 (WLI) 地形测量需要知道仪器传递函数 (ITF). 这项研究使用二进制伪随机数组 (BPRA) 来推导ITF,以提高测量准确性和WLI性能.