用于用圆柱形表面形状的放牧发射X射线镜成型基板的技术

科学领域:

• 光学和光子学 在光学和光子学.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 表面计量学 表面计量学

背景情况:

• 草地发射率X射线光学需要极其光滑和精确的表面,用于高性能应用.
• 当前的制造技术在实现先进的X射线镜子基板所需的精度方面面临着挑战.
• 新型制造方法的开发对于推动X射线仪器仪表的边界至关重要.

研究的目的:

• 为了证明制造平面基板的可行性,用于放牧事件X射线镜子,准确度低于纳米.
• 实施和验证一种离子束蚀刻技术,用于制造具有圆柱形表面形状的X射线光学元件.
• 为了生产高精度的X射线镜子基板,用于基克帕特里克-贝兹聚合系统.

主要方法:

• 使用离子束蚀刻,以坐标依赖的可变速度线性运动的工件在一个裂口隔膜后面.
• 在平面基板上实现了RMS~0.7nm的表面精度.
• 制造的圆柱形表面形状与理想抛物线圆柱体的偏差,RMS_M1=3.0 nm和RMS_M2=2.9 nm.

主要成果:

• 成功形成平面基板,用于放牧发作X射线镜,RMS精度约为0.7纳米.
• 为柯克帕特里克-贝兹系统创建了一对X射线镜子基板,表面形状偏离理想平面的H_M1=1.05 μm和H_M2=1.13 μm.
• 对于制造的镜子基板来说,从计算的3.0nm和2.9nm的抛物线气中证明了RMS偏差.

结论:

• 开发的离子束蚀刻技术使得用于放牧发射X射线镜的高精度基材的生产成为可能.
• 这种方法适用于制造圆和抛物线圆柱镜,对于先进的X射线应用来说是必不可少的.
• 该技术支持对衍光仪,同步子,自由电子激光器和基于太空的望远镜的聚焦光学的开发.