概括
研究人员通过在聚合物波导中嵌入SiN来增强化 (SiN) 相调节器. 这大大减少了低功率,高效的光子集成电路的驱动力.
科学领域:
- 光子学是指光子学的使用方法.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 集成光学 集成光学 集成光学
背景情况:
- 化 (SiN) 由于其光学特性,对光子学至关重要.
- 在SiN中低的热光学 (TO) 系数限制了相调节器 (PM) 的效率,并增加了驱动功率.
- 目前的SiN TO-PM阻碍了紧,低功耗光子集成电路 (PIC) 的开发.
研究的目的:
- 为了增强化 (SiN) 波导中的热光学 (TO) 效果.
- 为了降低基于SiN的相调节器 (PMs) 所需的调制功率.
- 为了实现低功耗,高效的SiN光子设备.
主要方法:
- 采用高 TO 性能的聚合物平面波导.
- 在聚合物平面波导结构中嵌入一个SiN条带.
- 使用单步式光刻工艺制造,没有层间对齐.
主要成果:
- 实现了对SiN PMs的调制功率的显著降低.
- 演示了一个带有嵌入式SiN条带的马赫-泽恩德调制器.
- 报告Vπ为42.7mW,响应时间为110μs.
结论:
- 这种新的方法有效地增强了SiN波导中的TO效应.
- 简化制造过程减少了制造的复杂性.
- 为SiN光子学中低功耗,高效的相调节器铺平了道路,适用于可见光谱设备.
