概括
我们使用激光结构黑开发了先进的位置敏感探测器 (PSD). 添加黑显示了增强的灵敏度和线性,用于超低光检测.
科学领域:
- 半导体设备物理学 半导体设备物理
- 材料科学是一种材料科学.
- 光子学 是一个光子学.
背景情况:
- 晶体位置敏感探测器 (PSD) 在线性和灵敏度方面存在局限性.
- 黑是一种纳米结构的,具有独特的光电子特性.
- 用硫和超兴奋可以进一步调整其电子和光学特征.
研究的目的:
- 为了研究femtosecond激光结构化,超多黑的性能,用于位置敏感检测.
- 评估热对这些黑PSD性能的影响.
- 展示自动供电,宽带和超低光检测能力的潜力.
主要方法:
- 黑色基板的制造用硫,,或两者都使用秒激光结构.
- 制造PSD对光点位置的侧向光伏响应的表征.
- 优化设备性能通过在873 K的热化.
- 在不同的光条件下评估光谱响应,灵敏度和线性.
主要成果:
- 基于黑色的PSD显示了线性侧向光伏响应,与晶体不同.
- 873 K的热显著提高了位置灵敏度,特别是在添加黑 (129 mV/mm) 中.
- 优化的设备显示了宽带光谱响应 (460-1150 nm) 具有高灵敏度 (99.7 mV/mm) 和低非线性 (<7%) 在低光功率 (0.22 mW) 下1000 nm.
结论:
- 五秒激光结构化,用添加的黑,在873K时化,是高性能PSD的一个有前途的材料.
- 开发的PSD提供自动供电操作,宽带检测,高灵敏度,优异的线性和超低光检测功能.
- 这项技术有可能用于需要在低光环境中精确位置传感的应用.


