Jove
Visualize
联系我们
JoVE
x logofacebook logolinkedin logoyoutube logo
关于 JoVE
概览领导团队博客JoVE 帮助中心
作者
出版流程编辑委员会范围与政策同行评审常见问题投稿
图书馆员
用户评价订阅访问资源图书馆顾问委员会常见问题
研究
JoVE JournalMethods CollectionsJoVE Encyclopedia of Experiments存档
教育
JoVE CoreJoVE BusinessJoVE Science EducationJoVE Lab Manual教师资源中心教师网站
使用条款与条件
隐私政策
政策

相关概念视频

您也可能阅读

相关文章

通过共同作者、期刊和引用图与本文相关的文章。

排序
Same author

Comparison and quantitative verification of mapping algorithms for whole-genome bisulfite sequencing.

Nucleic acids research·2014
Same author

Tempering pediatric hospitalist supervision of residents improves admission process efficiency without decreasing quality of care.

Journal of hospital medicine·2014
Same author

[Clinical characteristics in Parkinson's disease patients with cognitive impairment and effects of cognitive impairment on sleep].

Zhonghua yi xue za zhi·2013
Same author

New facile enantio- and diastereo-selective syntheses of (-)-triptonide and (-)-triptolide.

Organic & biomolecular chemistry·2013
Same author

Versatile on-resin synthesis of high mannose glycosylated asparagine with functional handles.

Carbohydrate research·2013
Same author

Association between point-of-care CRP testing and antibiotic prescribing in respiratory tract infections: a systematic review and meta-analysis of primary care studies.

The British journal of general practice : the journal of the Royal College of General Practitioners·2013

相关实验视频

Updated: Sep 11, 2025

Image-guided, Laser-based Fabrication of Vascular-derived Microfluidic Networks
10:53

Image-guided, Laser-based Fabrication of Vascular-derived Microfluidic Networks

Published on: January 3, 2017

10.0K

基于模型驱动的积木堆叠卷积神经网络的快速反向光刻.

Rui-Xiang Chen, Yang Zhao, Hao-Qin Li

    Optics express
    |August 13, 2025
    PubMed
    概括
    此摘要是机器生成的。

    这项研究引入了一种使用深度学习进行光学近距离校正 (OPC) 的新反光刻法方法. 该方法产生了适合制造的面具图案,提高了先进光刻的可行性和成本效益.

    更多相关视频

    Multi-step Variable Height Photolithography for Valved Multilayer Microfluidic Devices
    10:18

    Multi-step Variable Height Photolithography for Valved Multilayer Microfluidic Devices

    Published on: January 27, 2017

    14.5K
    Laser-induced Forward Transfer of Ag Nanopaste
    08:07

    Laser-induced Forward Transfer of Ag Nanopaste

    Published on: March 31, 2016

    11.4K

    相关实验视频

    Last Updated: Sep 11, 2025

    Image-guided, Laser-based Fabrication of Vascular-derived Microfluidic Networks
    10:53

    Image-guided, Laser-based Fabrication of Vascular-derived Microfluidic Networks

    Published on: January 3, 2017

    10.0K
    Multi-step Variable Height Photolithography for Valved Multilayer Microfluidic Devices
    10:18

    Multi-step Variable Height Photolithography for Valved Multilayer Microfluidic Devices

    Published on: January 27, 2017

    14.5K
    Laser-induced Forward Transfer of Ag Nanopaste
    08:07

    Laser-induced Forward Transfer of Ag Nanopaste

    Published on: March 31, 2016

    11.4K

    科学领域:

    • 半导体制造业 半导体制造业
    • 计算式 lithography 的使用方法.
    • 深度学习应用程序

    背景情况:

    • 光学近距离校正 (OPC) 对于先进的光刻来说至关重要,以减轻光学近距离效应 (OPE).
    • 传统的基于像素的OPC方法往往会导致复杂的面具图案,其制造是困难和昂贵的.
    • 现有的方法可能需要广泛的标记数据集,增加培训时间和复杂性.

    研究的目的:

    • 为OPC开发一种新的,有利于制造的反光刻法方法.
    • 通过使用深度学习框架来加快面具模式生成.
    • 为了提高面具图案的多样性和可行性,在先进的石版画.

    主要方法:

    • 一个以模型驱动的,区块堆叠的深度学习框架用于反向石版OPC.
    • 该方法基于矢量光刻绘制建模,减少了对大型标记数据集的需求.
    • 一个波函数崩算法被用来生成多样化的目标面具模式.

    主要成果:

    • 拟议的端到端方法有效地产生了制造友好的口罩图案.
    • 深度学习框架显著加快了面具生成过程.
    • 数字实验证实了该方法在高级OPC中管理面具复杂性的能力.

    结论:

    • 这种新型的反向光刻OPC方法提高了先进光刻的可行性和经济可行性.
    • 这种方法解决了与传统OPC技术相关的制造挑战.
    • 深度学习和波函数崩的整合为未来的面具设计提供了一个强大的范式.