概括
我们开发了一种高性能悬浮格合器,用于超薄基在绝缘体 (LNOI) 光子设备. 这一突破可以实现高效的光合,推进集成光子学应用.
科学领域:
- 综合光子学 综合光子学
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 绝缘体上的酸 (LNOI) 是集成光子学的一个关键平台.
- 为超薄的LNOI开发高效的光合方法是一项挑战.
- 现有的网格合器经常在薄的LNOI基板上表现不佳.
研究的目的:
- 提出和演示一个高性能悬挂格合器.
- 为了使超薄的LNOI上完全蚀刻的光子设备能够有效地进行光合.
- 在LNOI上克服当前格合器技术的局限性.
主要方法:
- 一个悬挂格合器结构的设计和优化.
- 在超薄X切割LNOI上制造合器.
- 连接效率和带宽的实验性表征.
主要成果:
- 在1546.24 nm时实现了 -3.5 dB的异常合效率.
- 证明了70nm的宽1dB带宽和超过90nm的3dB带宽.
- 展示了强大的制造容量,用于实际制造.
结论:
- 悬浮格合器是LNOI光子学的一个实用和可扩展的解决方案.
- 这项技术使光学晶体波导和悬浮装置能够高效地合光线.
- 解决了集成光子学的一个关键挑战,为先进的LNOI设备铺平了道路.
