概括
一种新的学习增强的双波长数字全息 (LeDWDH) 方法准确地测量了高高的复杂步骤样本. 这种技术克服了传统方法的局限性,为关键制造应用提供了高精度和大测量范围.
科学领域:
- 计量学和测量科学 计量学和测量科学
- 光学工程是指光学工程.
- 人工智能在制造业中的应用
背景情况:
- 精密制造依赖于精确测量纳米至微米复杂结构.
- 传统的光学干扰测量在这些样品的同时具有高精度和大测量范围.
- 现有的方法往往是耗时的,杂的或系统复杂的.
研究的目的:
- 开发一种新的测量技术,用于准确和快速评估高高的复杂步骤样本.
- 为了克服传统计量方法固有的精度范围的权衡.
- 简化精密制造中的动态监控测量系统.
主要方法:
- 提出了一种学习增强的双波长数字全息 (LeDWDH) 方法,利用Y-Net架构.
- 采用双波长数字全息,以获得单个多重干涉图,确保足够的测量范围.
- 训练了一个二对一的Y-Net,使用包装相作为输入,并扫描白光干扰测量数据作为标签来重建3D形态.
主要成果:
- 在75nm,1μm和5μm的步骤高度下,LeDWDH方法的测量误差小于10nm.
- 证明了复杂的步骤样本的同时高精度和大测量范围.
- 该系统使用单个干扰图,大大简化了设置.
结论:
- LeDWDH成功地解决了用于测量大高度复杂步骤样本的传统方法的局限性.
- 提出的技术为精密制造中的动态测量提供了一个新的策略.
- 在简化系统中实现了高精度 (<10 nm误差) 和大测量范围.
