关于分辨率的研究,改进了通过THz波的薄膜厚度测量方法,该方法基于拟合不完整的波形状
Optics express
|August 13, 2025
概括
一种新的合波形法准确地测量了薄的热生长氧化物 (TGO) 层. 这种技术克服了太赫兹飞行时间光谱中的信号重叠问题,以改进TGO厚度检测.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 非破坏性测试 不破坏性测试
- 频谱学是一种光谱学.
背景情况:
- 热屏障涂层 (TBC) 在操作过程中形成一个热生长的氧化物 (TGO) 层.
- 准确的TGO厚度测量对于评估TBC完整性至关重要.
- 现有的太赫兹飞行时间 (TOF) 方法由于信号重叠而难以检测TGO.
研究的目的:
- 开发一种用于准确检测TGO厚度的新方法.
- 解决传统的太赫兹TOF光谱在识别TGO脉冲信号方面的局限性.
- 为了提高非破坏性TGO层分析的精度.
主要方法:
- 提出了一种新的合适波形方法来分析重叠的太赫兹信号.
- 使用恒定局部信号配件来识别前脉冲峰值位置.
- 验证了使用聚胺 (PI) 薄膜的方法,并将其应用于TGO厚度测量.
主要成果:
- 配合波形法成功地确定了重叠的太赫兹信号的峰值位置.
- 实验证明了该方法在聚胺薄膜上的可行性.
- 精确测量TGO厚度为4μm,误差约为0.8μm.
结论:
- 这种新的合适波形方法有效地克服了太赫兹光谱学中的信号重叠挑战.
- 这种技术为非破坏性TGO厚度检测提供了更准确的方法.
- 该方法显示了增强TBC性能监测和寿命预测的前景.
