平面衍射镜片设计用于真空紫外线波长下100nm以下的斑点

Optics express
|August 13, 2025
PubMed
概括

研究人员开发了新的真空紫外线 (VUV) 平面衍射透镜 (PDL) 用于超高分辨率成像. 这些VUV PDL实现了次衍射聚焦和高传输效率,克服了VUV频段的先前限制.