低损耗,高度可调 Sagnac 循环反射器和 Fabry-Pérot 腔体在薄膜酸上
Optics letters
|August 15, 2025
概括
我们在薄膜酸上开发了低损耗的马赫-泽恩德干扰仪 (MZIs). 这些MZI具有节能相位变换器和用于先进光子电路的新型自我校准损耗测量技术.
科学领域:
- 光子学是指光子学中的一个方面.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 集成光学 集成光学 集成光学
背景情况:
- 马赫-泽恩德干扰仪 (MZIs) 是光子集成电路中的基本组件.
- 精确的损失测量和功率效率对于扩展基于MZI的系统至关重要.
- 薄膜酸为集成光子设备提供了有前途的性能.
研究的目的:
- 在薄膜酸上呈现低损耗和功率高效的MZIs.
- 开发一种自我校准的方法,用于精确的MZI损失量化.
- 提高MZIs中热光相变器的能源效率.
主要方法:
- 使用薄膜酸技术制造MZIs.
- 开发一种自我校准的损失测量技术,采用可调 Sagnac 循环反射器 (SLR) 来构建空洞.
- 实施热光相变器的热隔离沟.
主要成果:
- 实现了低MZI插入损失,低于1.5%.
- 使用单反相机构建Fabry-Pérot腔,其内在质量系数为2x10^6.
- 热光相位变换器的功耗降低了>10倍,达到2.5mW的Pπ.
结论:
- 在薄膜酸上开发的MZIs在低损耗和功率效率方面表现出色.
- 这种新的自我校准测量技术可以准确评估MZI的性能.
- 这些进展对于可扩展和复杂的光子集成电路的开发至关重要.


