MEMS,PtSe2

Stefan Heiserer1, Natalie Galfe1, Michael Loibl2

  • 1Institute of Physics, Faculty of Electrical Power Systems and Information Technology and SENS Research Center, University of the Bundeswehr Munich, 85577, Neubiberg, Germany.

概括

这项研究引入了一种新方法,用于为微型和纳米电机系统 (MEMS/NEMS) 创建大型,独立的二化物 (PtSe2) 通道. 这种方法可以实现应变工程和可扩展的集成到电子.