,.

Taylor J Buckway1, Aaron Redd1, Hyrum Taylor1

  • 1Department of Physics and Astronomy, Brigham Young University, Provo, Utah 84604, USA.

概括

一个新的紧型极紫外线 (XUV) 光源可以对先进材料进行极化敏感成像. 这种高波生成 (HHG) 系统实现了160nm的分辨率,对于计算机芯片制造至关重要.