使用宽带和高度定向的PMUT阵列进行表面状况传感

概括

这项研究引入了用于先进材料分析的压电微加工超声波传感器 (PMUT) 阵列. 超宽带PMUT阵列能够精确检测各种介质中的超声波传播衰减系数.