高Q化物膜共振器的制造和特征

科学领域:

• 视觉机械
• 材料科学
• 纳米技术

背景情况:

• 化膜是关键的光机械共振平台.
• 制造和描述通常依赖于共享的默认知识.
• 现有的方法缺乏全面的,可访问的协议.

研究的目的:

• 为化膜共振器制造和表征提供详细的视频教程.
• 为了让新人了解这个过程,
• 展示高Q因子的厘米尺度Si3N4纳米丝带的制造.

主要方法:

• 用于设备设计的有限元模拟.
• 晶片和芯片尺度加工包括光刻法,干/湿蚀刻.
• 基于光学杆的读数和回落测量用于表征.

主要成果:

• 制造厘米尺度Si3N4纳米带的演示.
• 在室温下达到超过10^8的Q因子.
• 详细的协议适用于标准的洁净室环境.

结论:

• 这本书提供了关于化共振器制造的全面实用指南.
• 它降低了光学和相关领域的研究人员的入门障碍.
• 提出的方法可以创建高性能光机械设备.