使用联合光束处理的紫外线可固化树脂制造微通道的研究
Yaofei Ma1,2, Shufeng Sun3,4, Jin Wang5,6
1Discipline Innovation and Wisdom Introduction Base of High-end Laser Intelligent Manufacturing Technology and Equipment, school of Mechanical and Automotive Engineering, Qingdao University of Technology, Qingdao, 266520, China.
Scientific reports
|August 25, 2025
概括
这项研究引入了一种新的全息联合秒激光束技术,用于制造微流体设备. 与传统激光方法相比,该方法实现了优越的微通道表面质量和加工效率.
科学领域:
- 微流体学
- 激光加工
- 全息制造
背景情况:
- 传统的微通道制造方法在精度和灵活性方面存在局限性.
- 五秒激光处理具有潜力,但需要对微流体应用进行优化.
研究的目的:
- 开发一种新的微流体设备处理技术,使用全息联合秒激光束.
- 实现高精度,多尺寸微通道制造,提高表面质量和效率.
主要方法:
- 采用全息联合秒激光束,全息相和拓由空间光调节器 (SLM) 控制.
- 一个燃烧被用来组合零级光和一级贝塞尔光束进行精确处理.
- 该技术用于制造可固化的树脂中的微通道.
主要成果:
- 综合光束处理显著降低了底面粗度 (Ra) 到0.128μm,比高斯光束和贝塞尔光束提高了2.8-2.9倍.
- 材料去除率 (MRR) 增加到6786. 362μm3/s,分别提高了7. 7倍和1. 9倍.
- 通过调整全息参数 (相值和拓电荷) 来精确控制微通道的宽度和深度.
结论:
- 采用全息组合光束方法,可以高品质,高效,灵活地制造微流体装置.
- 这种技术可以产生光滑的微通道表面,不需要后处理.
- 它为先进的微流体设备制造提供了一个有前途的替代方案.
