通过喷雾热解来获得印添加的ZnO薄膜,用于位置敏感的光检测
Pavlina Bancheva-Koleva1, Veselin Zhelev2, Plamen Petkov1
1Physics Department, University of Chemical Technology and Metallurgy, 8 Kliment Ohridski Blvd., 1756 Sofia, Bulgaria.
Materials (Basel, Switzerland)
|August 28, 2025
概括
这项研究探讨了通过喷雾溶解制备的氧化物 (ZnO) 薄膜. 印度增强了颗粒的均性和光敏感性, 显示了位置敏感装置的潜力.
科学领域:
- 材料科学
- 纳米技术
- 薄膜沉积
背景情况:
- 氧化 (ZnO) 是一种多用途的半导体,在电子领域有应用.
- 兴奋剂可以改变ZnO的特性以提高性能.
- 喷雾热解是一种具有成本效益的薄膜沉积技术.
研究的目的:
- 调查 doping 度对 ZnO 薄膜特性的影响.
- 描述ZnO:在膜中的形态,结构和光学特性.
- 评估这些膜在位置敏感装置应用中的潜力.
主要方法:
- 喷雾热解沉积ZnO和ZnO:在玻璃和基板上的薄膜中.
- 用于结构分析的X射线衍射 (XRD).
- 扫描电子显微镜 (SEM) 和原子力显微镜 (AFM) 用于表面形态和粗性.
- 光学传导度的测量
主要成果:
- 在所有薄膜中,XRD证实了石多晶结构.
- 在注后,SEM发现了光滑,均的表面,核密度增加.
- 随着度的增加,AFM显示了RMS粗度的增加 (例如,13.76nm为8mol%).
- 随着含量增加,薄膜的透光度略有下降.
- 测量的LPV光敏度达到约44mV/mm.
结论:
- 兴奋剂会影响 ZnO 薄膜的微观结构和表面形态.
- 准备的ZnO:In薄膜对于位置敏感的应用具有有前途的光敏感性.
- 喷雾热解是一种生产功能ZnO的可行方法:在薄膜中.
