微直角流门传感器用无形CoZrNb薄膜制成
Kyung-Won Kim1,2, Sung-Min Hong2, Daesung Lee2
1Department of Material Science and Engineering, Korea University, Seoul 02841, Republic of Korea.
Sensors (Basel, Switzerland)
|August 28, 2025
概括
研究人员使用CoZrNb膜开发了微小的直角流门传感器. 这些微型传感器有效地测量了地球
科学领域:
- 材料科学
- 电气工程
- 传感器技术
背景情况:
- 直角流门传感器对于磁场测量至关重要.
- 对于先进的应用, 传感器的小型化是必不可少的.
- 无形磁为传感器制造提供了独特的特性.
研究的目的:
- 使用无形 CoZrNb 薄膜制造微直角流门传感器.
- 优化制造过程和传感器性能.
- 为了研究传感器的特性, 测量地球磁场.
主要方法:
- 使用无形 CoZrNb 薄膜制造微传感器 (1.5 mm × 0.5 mm).
- 喷和沉积参数的优化 (喷角度,基板旋转).
- 应用Ta粘附层和O2等离子体表面处理
- 在300°C的真空化中,磁场为500Oe.
- 对操作频率和导体宽度的影响进行定量调查.
主要成果:
- 成功制造了微直角流门传感器.
- 克服了一些挑战,比如步骤覆盖和分层.
- 通过真空化实现最佳性能,增强磁软性和异构性.
- 获得了非常低的强制性 (0.1 Oe) 和稳定的无形结构.
- 记录了0. 98mV/ Oe (9. 8V/ T) 的最大灵敏度.
结论:
- 微型直角流门传感器可以使用无形的CoZrNb薄膜制造.
- 开发的传感器适用于多芯片包装.
- 这些传感器展示了测量地球磁场的潜力.


