基于FEA的特殊吸管的最佳设计温度控制的涂层
Diqing Fan1, Jianyu Liu1, Shuo Zhang1
1School of Mechanical and Automotive Engineering, Shanghai University of Engineering Science, Shanghai, China.
Science progress
|September 8, 2025
概括
一个新的静电冲压系统使用热控制涂层来实现精确的晶圆加工温度均性. 这种区域设计实现了特殊的温度稳定性,这对于先进的半导体制造至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体制造业 半导体制造业
- 热力工程是热力工程中的一个.
背景情况:
- 在晶圆加工中对精确温度控制的需求日益增加.
- 需要在半导体制造中提高热管理的稳定性和均性.
研究的目的:
- 建议采用热控制涂层的专用静电温度控制系统.
- 优化热管理,以提高温度的精度和均性.
主要方法:
- 采用区域控制方法,在碳化加热板上使用金属氧化物导电涂层.
- 建立了一个基于象限的热控制涂层模型.
- 利用有限元分析 (FEA) 来进行几何配置比较和系统优化.
主要成果:
- 确定区分结构是部门,螺旋和区分设计中的最佳配置.
- 达到0.2°C以下的最大温度差控制.
- 通过精确的涂层电流调节,稳定了表面温度在约0.05°C的均性.
结论:
- 拟议的静电系统有效地提高了热管理的稳定性和均性.
- 证明了区域控制方法的高精度温度调节的有效性.
- 建立了先进的半导体热管理系统的理论基础.
