使X线

Viktor Nikitin1, Alberto Mittone1, Samuel J Clark1

  • 1Advanced Photon Source, Argonne National Laboratory, Lemont, IL 60439, USA.

PubMed
概括

X射线纳米层成像为平面样品提供高分辨率的3D成像. 这种先进的技术克服了传统纳米断层扫描的局限性,使集成电路等具有挑战性的标本能够进行详细分析.