基于碳化物微孔结构的红外反射表面的制备
Ruirui Li1, Xiaozheng Ji1, Sijia Chang1
1State Key Laboratory of Extreme Environment Optoelectronic Dynamic Measurement Technology and Instrument, North University of China, Taiyuan 030051, China.
Materials (Basel, Switzerland)
|September 13, 2025
概括
直接纳米结构化碳化 (SiC) 创建了一个分级指数微孔阵列,用于优越的宽带反射. 这种强大的方法可以避免用于先进光学应用的薄膜限制.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学工程是指光学工程.
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 碳化 (SiC) 由于其光学性质,被优先用于精密光学.
- 传统的SiC反射涂层缺乏环境强度和长期稳定性.
- 直接纳米结构为薄膜涂层提供了一个稳定的替代方案.
研究的目的:
- 在SiC基板上开发一种新的分级指数微孔阵列,用于宽带反射.
- 建立高度优化的SiC微孔阵列的制造方法.
- 为了证明SiC光学元件的强大而稳定的反射解决方案.
主要方法:
- 一个两步制造过程,涉及等离子体诱导的纳米纤维蚀刻口罩和反应性离子蚀刻 (RIE).
- 控制阿贡轰炸调整纳米纤维面具形态.
- 多样化的等离子体暴露时间,以优化微孔阵列高度.
主要成果:
- 从2.5-8μm达到2.25%的超低平均反射率.
- 通过可调节的纳米纤维面罩,对SiC微/纳米制造进行了精确的控制.
- 在SiC上成功制造了高度优化的微孔阵列.
结论:
- 分级指数微孔阵列制造技术为SiC提供了卓越的宽带反射.
- 这种纳米结构方法保留了SiC固有的耐用性,性能优于传统涂料.
- 这种方法为下一代基于SiC的光学系统提供了一个强大的平台.
