概括
本研究介绍了一种精确的方法来测量光子集成电路中的平行波导间距. 该技术使用通道环共振器来映射晶圆的制造变化,从而改善芯片制造.
科学领域:
- 光子学是指光子学的使用方法.
- 集成光学 集成光学 集成光学
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 光子集成电路 (PIC) 对于现代光通信和计算至关重要.
- 精确控制波导间距对于PIC性能至关重要,但在制造过程中监控是具有挑战性的.
- 制造变化可以显著影响设备的功能和产量.
研究的目的:
- 开发一种可扩展和准确的方法,用于在PIC中提取平行波导间距.
- 为了使在线过程监测和变化感知建模在光子制造.
- 为了可视化和量化一个晶圆的制造诱导的变化.
主要方法:
- 对波导间距变化敏感的高灵敏度通道环共振器的设计.
- 制造共振器的晶圆尺度光学传输光谱测量.
- 应用一个紧的模型来量化地将光谱响应与有效波导间隙联系起来.
- 创建一个虚拟晶圆地图,将共振器位置与制造变化相关联.
主要成果:
- 成功量化提取高精度的有效波导间隙.
- 使用虚拟晶圆地图,可视化制造诱导变化的空间分布.
- 在光子平台上跨多种共振器阵列设计的实验验证.
- 证明可靠的过程监控的统计稳定性.
结论:
- 这种方法提供了一个精确和可扩展的解决方案,用于监测PIC制造中的波导间距.
- 这种方法有助于在线过程控制,并支持变化意识的设计和建模.
- 它提供了一条可行的途径,以提高光子芯片制造中的产量和性能.
