300毫米晶圆尺度的SiN平台用于与原子参考相容的宽带单离子微

科学领域:

• 光子学是指光子学的使用方法.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术纳米技术

背景情况:

• 芯片集成的光频 (OFC) 对于位置,导航和定时等应用至关重要.
• 化 (SiN) 是一个常见的平台,但传统的LPCVD对大规模制造有局限性.

研究的目的:

• 报告微环共振器的线性性能和宽带频率 generation.
• 在300mm晶圆上展示一种新的SiN制造工艺,与大规模生产和集成相兼容.

主要方法:

• 在300mm晶圆上制造微波振器,使用低温等离子体增强化学蒸汽沉积 (PECVD) 工艺对SiN薄膜.
• 线性性能的表征,包括插入损失和质量因子.
• 演示宽带单元微组合生成与可调节的分散.

主要成果:

• 在300mm晶圆上保持一致的性能,厚度变化为±2%.
• 高固有质量因子和低插入损失.
• 宽带单离子微生成延伸到原子过渡波长.

结论:

• 在300mm晶圆上的PECVD SiN平台适用于可批量生产的光子设备.
• 这一进步支持集成光学时钟,LiDAR和其他先进的应用.
• 该过程与电子和光子集成兼容,为更复杂的系统铺平了道路.