作为ALD/MLD应用的有前途的前体的新型滴氧胺衍生物
Parmish Kaur1, Mikko Nisula2, Christophe Detavernier2
1Inorganic Materials Chemistry, Ruhr University Bochum, Universitätsstr. 150, 44801 Bochum, Germany.
研究人员为原子层沉积/分子层沉积 (ALD/MLD) 混合工艺开发了新的dithioxamide (DTOA) 衍生物. 这些新型前体能够通过调整侧链长度来控制制造先进的薄膜.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 化学工程是化学工程的重要组成部分.
背景情况:
- 混合材料结合了原子层沉积 (ALD) 和分子层沉积 (MLD) 提供独特的特性.
- 与ALD过程相容的挥发性MLD前体的有限可用性阻碍了开发.
研究的目的:
- 为了合成和描述用于ALD/MLD应用的新型滴氧胺 (DTOA) 衍生物.
- 调查侧链修改对Cu-R DTOA薄膜制造前体性质的影响.
主要方法:
- 合成具有不同侧链长度的DTOA衍生品.
- 使用NMR,FTIR和TGA/DSC进行表征.
- 用现场光谱圆测量监测的ALD/MLD实验.
主要成果:
- 成功合成和表征新的DTOA衍生品.
- 在ALD/MLD过程中证明了可控的线性薄膜厚度增加.
- 侧链长度与前体挥发性/热稳定性之间确立的相关性.
结论:
- DTOA衍生品是适合于ALD/MLD混合沉积的MLD前体.
- 量身定制基侧链会影响先导物质的性能,用于先进的材料制造.
- 为设计用于薄膜沉积的定制前体提供了见解.
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