1.1厘米长的薄膜基酸Mach-Zehnder调制器具有低驱动电压,集成微传输打印

科学领域:

• 光子学是指光子学的使用方法.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 电气工程 电气工程

背景情况:

• 薄膜酸 (TFLN) 提供节能光学调制.
• 微转印 (μ-TP) 便于光子设备的异质整合.
• 以前的μ-TP TFLN设备使用无图案的膜,限制互动长度和增加驱动电压.

研究的目的:

• 为了展示预结构薄膜尼酸盐 (TFLN) 马赫-泽恩德 (MZ) 干扰仪的微传输打印 (μ-TP).
• 为了在基于TFLN的调制器中实现更低的驱动电压和更高的调制带宽.
• 在光子平台上实现高性能调制器的经济高效,密集集成.

主要方法:

• 制造预定义结构的TFLN MZ干扰仪.
• 使用微转印 (μ-TP) 将TFLN MZ干扰仪集成到基板上.
• 设备性能的表征,包括传播损失,插入损失,驱动电压 (Vπ) 和调制带宽.

主要成果:

• 证明TFLN MZ干扰仪的μ-TP长度高达1.1厘米,传播损失为0.7dB/cm.
• 在上集成的TFLN MZ调制器中实现了2.7V的创纪录的低驱动电压 (Vπ).
• 获得了28 GHz的调制带宽,插入损失低 (0.97 dB).
• 在带有3毫米电极的装置中,显示的调制频率超过50 GHz,Vπ为8.9 V.

结论:

• 预结构TFLN MZ干扰仪的微传输打印是高性能光子集成电路的可行技术.
• 这种方法克服了以前方法的局限性,使得较低的驱动电压和更宽的带宽成为可能.
• 展示的技术为先进的光子应用开辟了节能,成本效益高的光学调制器的道路.