基于模型的光学临界维度计量学对高面积比孔的空间收分析

科学领域:

• 计算物理学的计算物理.
• 纳米光子学 纳米光子学
• 电磁学 电磁学 电磁学 电磁学

背景情况:

• 3D严格合波分析 (RCWA) 对于模拟纳米结构至关重要.
• 在RCWA中的化错误可能会影响模拟的准确性,特别是对于高比例的特征.
• 分析里埃数列扩展为准确性提供了一个基准.

研究的目的:

• 在3D RCWA模拟中调查和量化拉斯特化错误.
• 为了比较模拟结果与分析里埃数列扩展.
• 为了确定最佳的模拟参数,准确地建模高比例孔.

主要方法:

• 实施了3D RCWA模拟,用于高面比孔结构.
• 使用分析里埃数列扩展进行比较.
• 研究了空间分辨率和子细胞分裂对模拟准确性的影响.
• 每个采样单元的计算有效介质近似值.

主要成果:

• 模型区域的拉斯特化在3D RCWA模拟中引入错误.
• 计算每个采样单元的有效介质近似值是最有效的误差缓解策略.
• 为了最大限度地减少错误,对于不同的截断顺序,存在最优的空间分辨率和子细胞数量.

结论:

• 有效的介质近似是准确的纳米结构3DRCWA模拟的关键.
• 为了获得可靠的模拟结果,必须仔细选择空间分辨率和子细胞参数.
• 这项工作提供了改善RCWA模拟精度的指导方针,用于具有挑战性的几何形状.