关闭下一代传感的循环,通过影子球光刻,等离子学和人工智能进行感知
Mingyu Cheng1, Xinyi Chen1, Jinglan Zhang1
1School of Microelectronics and Communication Engineering, Chongqing Key Laboratory of Bio-perception & Intelligent Information Processing, Chongqing University, Chongqing, 400044, P.R. China. binai@cqu.edu.cn.
Chemical Society reviews
|September 23, 2025
概括
融合等离子纳米结构设计,制造和人工智能分析使先进的传感器成为可能. 这种方法满足了智能平台对准确性和速度的要求,推动了未来的创新.
科学领域:
- 纳米技术纳米技术
- 光子学是指光子学的使用方法.
- 人工智能的人工智能
背景情况:
- 传统的传感器难以满足智能能源,医疗保健和制造平台的需求.
- 塑微光和纳米光学传感器具有潜力,但需要整合设计,制造和信号处理.
研究的目的:
- 为提供纳米结构设计,制造和用于等离子体传感器的AI的融合提供了端到端的审查.
- 突出进展并概述未来传感器开发的路线图.
主要方法:
- 综述2019-2024年的研究成果,重点关注可扩展模式的影子球体光刻法 (SSL).
- 将纳米结构映射到等离子体,晶格和有限态共振.
- 物理意识的人工智能 (AI) 管道用于信号处理和设计逆转的应用.
主要成果:
- 影子球光刻 (SSL) 能够为等离子体传感器提供可扩展的50nm以下图案.
- 人工智能管道有效地消除了光谱,弥补了变化,并提高了预测准确性.
- 为高分辨率传感提出了一个关闭循环路线图,将SSL,等离子体和AI分析联系起来.
结论:
- 纳米光子学,可扩展制造和人工智能分析的融合对下一代传感器至关重要.
- 未来的工作应该解决3D模式,自组装和适应信号解释的挑战,以实现晶圆尺度集成.


