通过使用周期性稀释喷气电化学削方法制造高面积比无形合金微槽
Yahui Li1, Pingmei Ming1, Dongdong Li1
1School of Mechanical and Power Engineering, Henan Polytechnic University, Jiaozuo 454003, China.
Micromachines
|September 27, 2025
概括
定期稀释喷气电化学削 (PT-JECM) 可以提高精细金属的精度. 这种新的方法显著提高了微结构的加工精度和尺寸比.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 制造业 工程 制造工程
- 表面工程是什么?表面工程是什么?
背景情况:
- 喷射电化学削 (JECM) 适用于在敏感金属材料中制造精细特征.
- 传统的JECM面临着诸如超切和受限制的尺寸比例加工等局限性.
- 需要改进JECM技术,用于高精度的微结构.
研究的目的:
- 引入和评估周期性稀释喷气电化学削 (PT-JECM) 方法.
- 解决微槽和裂制造中传统JECM的局限性.
- 为了实现高比例结构的精密加工.
主要方法:
- 拟议的PT-JECM方法涉及最初的浅沟生成与原始喷嘴直径.
- 随后的削通过使用逐渐更小的喷嘴直径,根据预制槽量身定制.
- 对传统的JECM技术进行了比较分析.
主要成果:
- PT-JECM显著提高了128%的蚀刻系数 (从1.896增加到4.318).
- 插槽宽度的增加明显减少,从275微米减少到1微米.
- 视角比提高了63% (从0.51到0.83).
结论:
- PT-JECM克服了微型制造的传统JECM的局限性.
- 该方法使得具有高面比的微结构能够进行精密加工.
- 对于微妙的材料,PT-JECM提供了对槽尺寸和精度的卓越控制.
